Principi de foncionament d'un netejaire de plasma

Plasma cleaners use plasma discharge to generate a high-energy oxidation reaction. Using oxygen or a mixed gas (such as oxygen + hydrogen) in the discharge zone, they form an ion plasma (energy range 5-15 eV). The high-energy electrons and radiation from these plasmas decompose surface contaminants (organic matter oxidation rate >90%), produsent de produchs gasós o solubles. Aquesta tecnologia ofrís un netejament sens substàncias quimicas, sens contacte, çò que la rend convenabla pel tractament de superfícia dels metals (coma l'acièr inoxidabla e l'alumini) e los polimèrs (coma lo PTFE), e es particularament plan-adaptada pel netejatge de compausants electronics de precision e de dispositius medicals.

En tèrmes d'eficiéncia de neteja, los temps de tractament tipics van de 2 a 10 minutas per lot. Pòt levar de contaminants a nanoescala (talha de particula<100 nm), reduce surface contact angles by over 40°, and significantly improve material adhesion. Important operating parameters: maintain power between 50-1000W, air pressure between 10-100 Pa, and avoid overheating the substrate (temperature <150°C).