Aplicacions especificas dels netejaires de plasma

Las maquinas de netejatge/gravatge de plasma generan de plasma en plaçant dos electrodes dins un recipient tancat per crear un camp electric. Una pompa de vuèg es utilizada per manténer un cèrt nivèl de vuèg. A mesura que lo gas ven de mai en mai rarificat, la distància entre las moleculas e lo liure movement de las moleculas o dels ions aumenta tanben. Jos l'influéncia del camp electric, aqueles ions tustan e forman de plasma. Aquestes ions son fòrça reactius, amb pro d'energia per trencar gaireben totes los ligams quimics, indusent de reaccions quimicas sus quina superfícia que siá expausada. Los plasmas de gas diferents an de proprietats quimicas diferentas. Per exemple, lo plasma d'oxigèn es fòrça oxidant, capable d'oxidar lo fotoresist per produire de gas, atenhent aital un efièch de neteja. Lo plasma de gas corrosiu a una anisotropia excelenta, que respond als requisits de gravatge. Lo tractament de plasma produtz una resplendor, d'aquí lo nom de descarga de resplendor.
Lo mecanisme de neteja per plasma s'apièja subretot sus l'"activacion" de particulas activas dins lo plasma per levar las tacas de superfícia. En tèrmes del mecanisme de reaccion, lo netejament plasmatic implica generalament lo procès seguent: los gases inorganics son excitats dins un estat plasmatic; las substàncias gasosas son adsorbidas sus la superfícia solida; los grops adsorbats reagisson amb de moleculas sus la superfícia solida per formar de moleculas de produch; las moleculas de produch se descompausan dins la fasa gasosa; e los residus de reaccion son levats de la superfícia.

La caracteristica mai significativa de la tecnologia de neteja per plasma es que pòt tractar quin tipe de substrat que siá, inclusent de metals, de semiconductors, d'oxids, e la màger part dels materials polimers coma lo polipropilène, lo polièster, la poliimida, lo clorur de polivinil, l'epoxi, e quitament lo politetrafluoroetilèn. Pòt netejar a l'encòp la superfícia entièra e d'airals especifics, e tanben d'estructuras complèxas.